高精度:白光干涉仪的距离和厚度测量

创新的白光干涉仪用于亚纳米分辨率的高精度距离和厚度测量,提供2.1 mm的绝对测量范围。紧凑而坚固的传感器是在有限空间集成的理想选择。该控制器具有主动温度控制,可补偿环境温度的变化,从而实现巨大的温度稳定性。Micro-Epsilon的创新干涉仪具有< 30 picmeters的分辨率,在光学测量技术中实现了一个新的精度水平。根据应用程序的不同,有三种不同的版本。IMS5400-DS用于高精度和工业距离测量;用于精密厚度测量的IMS5400-TH;IMS5600-DS采用真空设计,可用于亚纳米精度的距离测量。