根据一项提议,用于固体电子图像和显示设备中单个像素的彩色干涉滤光片将由薄金属和介电薄膜制成。这种滤色镜将克服染料滤色镜的主要缺点(成本高),这些滤色镜通常用于液晶显示设备、数码相机和摄像机。与由不同折射率的交替介质层制成的彩色干涉滤光片相比,拟议的滤光片在成本和功能上都有优势。

图1所示。一种宽带通干涉滤光片可以让其中一种原色通过,这种滤光片可以由三层薄薄的银和两层氟化镁组成。

全介质滤波器是昂贵的,因为需要大量的层来获得红、绿、蓝(RGB)之间的充分区分。所提出的滤波器将提供足够的颜色识别与可接受的宽频带响应(通过波长波段约100nm宽)。该过滤器是相对便宜的,因为他们包含更少层——通常不超过五层,且只有两层为RGB颜色需要不同的厚度,这意味着它只需要蒙面2¥(3 - 1)= 4,作为all-dielectric与超过10层过滤器,并且需要被蒙面10¥(3 - 1)= 20。

图1显示了一种拟议的五层金属/介电滤波器的各个方面,该滤波器包含三层银和两层氟化镁交替。图中的表格显示了使滤光片传输三种原色所需的薄膜厚度。三种滤色镜对应的银色层厚度可以相同;只有氟化镁层在三种颜色中厚度不同。不同层厚度的总数只有5个,银有3个,氟化镁有2个。

图2。通过使用已有的沉积和光刻胶图形技术,可以在显示器或图像设备的每个像素内制造所有三原色的滤镜。

由于厚度较少,在每个像素中有三个基色滤光片(见图2)的设备制造中,形成图案和其他方面相对容易。在光刻胶掩膜暂时替代氟化镁薄膜的情况下,可以形成金属图案。每个光刻胶掩膜的光学厚度将与随后在其位置上沉积的氟化镁薄膜的光学厚度相等。因为控制光刻胶掩膜的厚度相对容易,制造应该相对简单和廉价。

这项工作是由加州理工学院的Yu Wang完成的美国宇航局喷气推进实验室

根据公法96-517,承包者选择保留这项发明的所有权。有关其商业使用权利的查询应向

技术报告办公室
喷气推进实验室
邮件停止122 - 116
橡树林路4800号
帕萨迪纳市,91109
(818) 354 - 2240

是指非营利组织- 20217


本概要包括一个技术支持包(TSP)。
金属/介质膜干涉滤色片

(参考NPO20217)目前可以从TSP库下载。

没有账户?报名在这里



NASA技术简报杂志

本文首次发表于1999年2月号NASA技术简介杂志。

阅读更多来自档案馆的文章在这里